Semiconductor 390×390mmの半導体パネルに対応する全自動研削装置を開発 大型の半導体パネルと細長いストリップ基板に向け、形状別の全自動研削装置が開発された。パネル向けは最大390×390mmに対応し、両機種とも搬入か… 2026.10.01