High NA EUV

High NA EUV露光を量産品の選択層に適用、累計処理は100万枚超

High NA EUV露光がIntel 18A量産品の選択層へ入り、装置認証、研究開発、量産を通じた累計処理枚数は100万枚を超えた。現行の6イ…