AlScN

強誘電体メモリーセル、1000℃まで記憶状態を保持

強誘電体AlScNの薄膜を使うメモリーセルが、室温から1000℃までの試験で記憶状態を保持した。高温でも記憶保持の特性はほぼ変わらず、状態の切り…