High-NA EUV

High-NA EUVがIntel 18Aの量産工程へ、累計処理は100万枚超

High-NA EUVがIntel 18Aの一部レイヤーの量産へ組み込まれた。現行の6インチマスクを使う製造経路を維持し、認定・試験、研究開発、…