3D DRAM

3D DRAM向け酸化物半導体トランジスター、8層積層で動作確認

酸化物半導体の横型トランジスターを高さ方向に8層積層し、構造内での動作が確認された。キオクシアは、積層した窒化膜を酸化物半導体へ置き換える工程で…