DFD6342

高効率モーターで冷却水を減らす半導体ウエハー切断装置

8インチウエハー対応の全自動切断装置DFD6342は、高効率モーターで発熱を抑え、冷却水の使用量を減らした。ディスコは削減率を63％としている。…