最大10 kAの動的・短絡試験と、複数デバイスの並列試験に対応するパワー半導体向け試験基盤MTeの提供が始まった。モジュール式ハードウェアと分散計算構成を採用し、ウエハーからパワーモジュールまでを対象とする。
ウエハーからパワーモジュールまでを共通基盤で試験
半導体試験装置メーカーのアドバンテストが提供するMTeは、ウエハー段階から高機能パワーモジュールまでを試験対象とする。構成にはモジュール式ハードウェア、システムの拡張性、デジタル制御を組み合わせている。
最大10 kAの試験とデジタル機能を備える
アドバンテストによると、この試験基盤は最大10 kAの動的試験と短絡試験に対応する。高帯域の信号取り込みに加え、ゲートドライバー制御と高電圧のデジタル機能を備える。
試験対象には、SiCやGaNを使った半導体が含まれる。デジタルIPコアを組み込んだパワーデバイスの試験要求にも対応する。
分散計算で並列試験を支え、設置面積を削減
複数デバイスを同時に試験する処理には、分散計算構成を用いる。アドバンテストは、この構成が同時試験の効率を高め、高い並列度での試験を可能にするとしている。
装置の構成では、試験に使うリソースの配分も最適化した。性能を低下させずに設置面積を削減したという。
顧客の初期評価で従来装置より処理量が向上
アドバンテストによると、自動車・産業用パワー用途の顧客による初期評価では、従来の試験装置に対して生産性と処理量の向上が確認された。MTeは世界向けに提供を開始している。